PFEIFFER EVR116

PFEIFFER EVR116是一种气体控制阀，本质上是由步进电机驱动的针型阀。它能将外部控制信号转化为特定的阀针位置，通过改变阀的开度来精确控制气体流量。该阀门有配套的控制器，如普发的RVC 300。

产品参数：

控制电压：0-10V DC。

最大可控气体流量：1.25×10³hPa·L/s。

公称直径：DN 16 ISO-KF。

供电：最大功耗12W。

烘烤温度：执行器60°C，外壳80°C。

产品规格：尺寸通常为200mm×150mm×75mm，也有资料显示为紧凑的100mm×150mm×50mm，重量约1.5kg。

产品系列：属于普发公司气体控制阀门系列产品。

产品特征：

流量控制精准：可以实现高精度的气体流量控制，控制精度可达读数的±0.1%。

控制范围广：工作压力范围宽，从10⁻¹⁰到10³mbar，能适应多种不同的真空度环境。

集成度高：带有集成的电机控制电子设备，便于安装和使用，可有效减少外部控制设备的复杂性。

通信便捷：具备RS-485、USB等通信接口，方便与其他设备进行数据交互和集成到自动化系统中。

环境适应性强：工作温度范围为-20°C到60°C，能在较为恶劣的工业环境中稳定工作。

作用：主要用于精确控制气体流量，在真空系统或需要精确气体流量控制的系统中，根据外部输入的控制信号，准确地调节阀门开度，从而实现对气体流量的精准调节，以满足系统的工艺要求。

用途：用于需要对气体流量进行精确控制和调节的场合，确保气体流量按照设定的要求进行变化，以保证系统的稳定性和可靠性。

应用领域：

半导体制造：在半导体芯片制造过程中，用于控制各种工艺气体的流量，如光刻、蚀刻、镀膜等工艺，确保工艺的一致性和产品质量。

真空冶金：在真空熔炼、真空镀膜等冶金工艺中，精确控制保护气体或反应气体的流量，有助于提高金属材料的质量和性能。

科研领域：如在物理、化学等科研实验中，需要精确控制气体流量来进行各种实验，为实验提供准确的气体环境。

制药行业：在药品生产过程中，对各种参与反应的气体或用于环境控制的气体进行精确流量控制，以满足药品生产的严格要求。