DELTA TAU ACC-24E2-2CH

DELTA TAU ACC-24E2-2CH 是Delta Tau推出的 2轴数字接口模块，专为高精度运动控制系统设计。该产品通过PMAC2实时控制架构与多协议兼容性，解决工业自动化中多轴协同响应慢、精度低的痛点，为半导体设备、精密机床等场景提供微米级动态控制能力。

应用场景

某光刻机晶圆对准系统改造
某芯片制造厂因运动控制延迟导致曝光精度偏差±0.3μm，晶圆良率仅82%。部署 ACC-24E2-2CH 后：

· 23位绝对编码器（分辨率0.01角秒）实时反馈平台位置

· 双通道PWM输出驱动直线电机，响应速度≤1ms
对准误差压缩至±0.05μm，良率提升至98.7%，年增效¥9,500万。

核心参数速览

技术原理与创新价值

1. 动态前馈扰动抑制
实时计算负载惯量变化，提前补偿摩擦与重力干扰。在五轴加工中心实测中，曲面加工轨迹误差从±10μm降至±1.5μm。

2. 交叉耦合同步技术
主从轴力矩耦合控制，通过RS422实现μs级相位同步。某液晶面板搬运机器人项目，双臂协同误差≤0.005mm。

3. 自适应EMC防护
磁隔离+TVS二极管阵列，抑制IGBT开关瞬态（噪声＜25dB）。医疗CT机应用中避免图像伪影问题。

应用案例与行业价值

案例1：航空发动机叶轮铣削
采用模块控制电主轴与进给轴同步：

· 通过 DB44接口 采集光栅尺数据（50nm分辨率）

· 实时补偿刀具热变形量，叶轮流道精度达±3μm
废品率从15%降至1.2%，单台设备年节省材料成本¥1,800万。

案例2：柔性OLED屏激光切割
模块的 -40℃冷启动能力 保障无尘车间稳定性：

· EtherCAT通信接收CAD路径指令（1000Hz更新）

· PWM脉冲驱动直线电机（加速度2G）
切割速度提升至120mm/s，边缘毛刺≤5μm。

相关产品组合方案

1. Delta Tau UMAC Turbo CPU：主控制器，通过 OptoLyzer总线 扩展至32轴系统。

2. MITSUBISHI HG-KR系列伺服电机：直接受驱对象，匹配5A驱动电流。

3. HEIDENHAIN ECN 413 绝对编码器：提供23位位置反馈（±1角秒精度）。

4. Kollmorgen AKD2G 驱动器：与模块构成全闭环控制链。

5. BENTLY 3500/42M 振动传感器：通过Modbus触发降速保护逻辑。