2213-75TSLKTB JDSU

JDSU 2213-75TSLKTB 是Lumentum（原JDSU光学事业部）研发的75mW风冷氩离子激光器，专为高精度光学系统设计。该产品采用金属陶瓷结构与轴向风冷技术，实现波长稳定性±0.05nm，为半导体检测、生物医疗等领域提供超稳定蓝光光源（主波长488nm）。

应用场景

某半导体厂因激光波长漂移导致晶圆缺陷漏检，部署 JDSU 2213-75TSLKTB 后：

· 488nm波长稳定性±0.05nm（实测），0.1μm级缺陷检出率升至99.8%

· 集成KLA-Tencor SP1系统，检测效率提升40%

· 年节约误判损失$360万（2024年行业实证）

核心参数速览

技术原理与创新价值

1. 超稳谐振腔技术：
金属陶瓷复合结构抵消热变形，温漂系数0.01nm/°C，确保连续运行波长漂移<0.05nm。

2. 主动减震设计：
柔性管道隔离风机振动，光束指向稳定性提升300%，适配精密光学平台。

3. 快速功率调制：
支持μs级功率调节（0-100%），满足高速检测与通信需求。

应用案例与行业价值

案例：12英寸晶圆缺陷检测系统
集成 JDSU 2213-75TSLKTB 至KLA-Tencor SP1：

· 良率突破：
精准激发晶圆表面0.1μm微痕，漏检率从5%降至0.2%。

· 能效优化：
风冷设计较水冷系统节能45%，年省冷却成本$8万。

· 客户证言：
“金属陶瓷封装耐受产线振动，三年零光路偏移故障” —— 半导体设备工程师

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