AMAT 0010-23716 是 应用材料公司（Applied Materials, AMAT） 生产的 半导体设备专用组件，属于 VME总线架构 的工业控制模块，专为 晶圆加工、薄膜沉积 等半导体工艺设备设计。该模块支持 高精度运动控制 和 多轴同步，具备 抗干扰设计 和 长寿命运行 特性，适用于 严苛的半导体生产环境。
参数 | 说明 |
型号 | 0010-23716 |
制造商 | AMAT |
产品类别 | VME总线控制器 |
通信协议 | VME64x总线标准 |
环境适应性 | 工作温度：0°C至+50°C，防护等级IP20 |
安装方式 | 19英寸机架安装 |
MTBF | >50,000小时（符合SEMI S2标准） |
半导体制造
在 PVD（物理气相沉积）设备 中，0010-23716 作为 运动控制核心，实现 晶圆台多轴同步定位，定位精度达 ±0.1μm。
晶圆检测
某 光学检测设备 采用该模块扩展 I/O接口，通过 VME总线 连接 高分辨率相机，系统响应时间缩短至 10ms。
设备升级
在 老旧半导体设备改造 中，该模块可替代 传统PLC控制卡，兼容 AMAT PMAX系列 设备。
高可靠性
采用 工业级VME总线架构，支持 冗余电源输入，在 10kV/m电磁干扰 环境下仍保持 0.001%误码率。
协议兼容性
支持 AMAT专用控制协议，可无缝集成至 ProMax、Endura 等设备。
维护便捷
模块支持 在线诊断 和 固件热更新，故障恢复时间 <1分钟。
· 0090-90967：VME CPU板（与 0010-23716 配套使用）
· 0100-71267：通道PMC卡（扩展 0010-23716 功能）
· 0010-28715：半导体设备专用电源单元（增强 0010-23716 供电能力）
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