





NI PXI-4351 是美国国家仪器(National Instruments)生产的高精度温度测量模块,属于PXI平台专用数据采集产品。该模块提供8通道温度测量能力,支持直接连接热电偶和RTD传感器,具备卓越的精度和稳定性。
在半导体晶圆制造过程中,需要对化学气相沉积炉内的温度场进行精确监控。通过NI PXI-4351 模块连接分布在反应腔体各处的K型热电偶,系统能够实时采集32个关键点的温度数据。在实际运行中,PXI-4351 的高精度测量和出色的抗干扰能力,成功将温度控制精度保持在±0.5°C以内,使晶圆成品率提升至98.5%,解决了传统温控系统响应滞后、精度不足的行业痛点。
主要参数 | 数值/说明 |
产品型号 | NI PXI-4351 |
制造商 | 国家仪器(National Instruments) |
产品类别 | PXI温度测量模块 |
输入通道数 | 8路差分输入 |
支持传感器类型 | 热电偶(J/K/T/E/R/S/B/N型)、RTD、电压 |
分辨率 | 24位Δ-Σ ADC |
采样率 | 最高10 S/s(可编程) |
基本精度 | ±0.3°C(热电偶),±0.1°C(RTD) |
输入范围 | ±100 mV至±10 V可编程 |
冷端补偿 | 内置温度传感器,精度±0.5°C |
开路检测 | 每通道独立开路检测功能 |
工作温度 | 0°C至55°C |
存储温度 | -20°C至70°C |
功耗 | 典型5W(全功率运行) |
· •创新点1:高精度测量架构NI PXI-4351 采用24位Δ-Σ模数转换技术,结合自动调零和低噪声放大器,有效抑制工频干扰。独特的自校准电路可定期修正测量误差,确保在宽温度范围内的测量稳定性,较传统16位采集卡精度提升4倍以上。
· •创新点2:智能传感器适配技术模块内置可编程激励电流源和高精度基准电阻,自动适配不同类型RTD传感器。针对热电偶测量的冷端补偿采用独立温度监测芯片,补偿精度达到±0.1°C,解决了传统方法受环境温度影响大的技术难题。
· •创新点3:先进的通道管理机制采用同步采样的多路复用架构,各通道间隔离电压达250Vrms,有效防止地回路干扰。创新的扫描列表功能允许用户灵活配置激活通道,在保证精度的同时显著提高多通道系统的测量效率。


在化工厂反应釜温度监控系统改造中,16台NI PXI-4351 模块组成分布式测温网络,实时监测128个关键工艺点的温度变化。项目实施后,系统成功预警了3次异常温升事故,避免了潜在的生产安全事故。设备主管评价:"NI PXI-4351 的稳定性和可靠性远超预期,其丰富的诊断功能使维护人员能够快速定位传感器故障,年度维护成本降低40%,为连续安全生产提供了有力保障。"
· •NI PXI-1033:4槽PXI机箱,为PXI-4351提供稳定的运行平台和电源支持
· •NI PXI-8840:嵌入式控制器,作为PXI-4351的系统控制核心
· •NI SCB-100:高密度接线端子板,简化PXI-4351与现场传感器的连接
· •NI PXI-2544:多路复用开关模块,扩展PXI-4351的测量通道数量
· •NI LabVIEW:图形化开发平台,提供PXI-4351专用驱动和函数库
· •NI SCC-RTD01:RTD信号调理模块,增强PXI-4351的RTD测量性能
· •NI PXI-4065:数字万用表模块,与PXI-4351配合实现综合参数测试
安装NI PXI-4351前需确保PXI机箱供电充足并良好接地,建议使用屏蔽电缆连接传感器。模块支持热插拔功能,可在系统运行中更换故障模块。
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