S20660-SRS DANAHER

S20660-SRS 是 Danaher 集团旗下精密运动控制品牌（如 Kollmorgen 或 Dover Motion）生产的一款大行程、高负载能力的无铁芯直线电机平台。该产品采用直接驱动技术，将电机的动子（线圈）与定子（磁轨）分离，实现了非接触式的直线运动。其特点是运动平稳、加速度极高、无磁吸引力且零维护，特别适用于需要长行程、高速度、高加速度和高精度的自动化应用。

应用场景

在一家大型平板显示面板制造厂的阵列工序中，需要将巨大的玻璃基板（尺寸超过2米）在多个工艺站之间进行高速、高精度的传输与定位。任何振动或定位偏差都会导致黄光微影的对准失败，造成巨大损失。该设备的物料传输系统采用了 Danaher S20660-SRS 直线电机平台。其强大的推力使得承载着数百公斤玻璃基板的负载能够以超过2G的加速度高速运行，极大缩短了节拍时间；同时，其无铁芯设计带来的平稳性和高分辨率光栅反馈，确保了在行程末端能达到微米级的重复定位精度，满足了现代面板制造对产能和精度的双重苛刻要求。

核心参数速览

技术原理与创新价值

· •创新点1：无铁芯设计与零磁吸引力。 S20660-SRS 采用无铁芯动子（线圈绕组嵌入环氧树脂中），使其在运动过程中与磁轨之间不存在周期性齿槽力或磁吸引力。这带来了极其平稳的运动特性，即使在极低速度下也无爬行现象，并且对安装基础的受力要求更低，简化了机械设计。

· •创新点2：极高的动态性能与效率。 由于没有铁芯带来的涡流损耗，无铁芯电机可以实现极高的加速度和减速度，热生成更少，效率更高。这使得 S20660-SRS 非常适合需要频繁启停、高速往复运动的场合，能显著提升设备产能。

· •创新点3：直接驱动与高精度反馈。 平台直接驱动负载，消除了滚珠丝杠、皮带等中间传动环节带来的背隙、弹性变形和磨损问题。结合安装在平台上的高分辨率线性编码器（分辨率可达纳米级），构成了一个高刚性、高精度的闭环控制系统，实现了从电机到负载的“一对一”精准控制。

应用案例与行业价值

在某半导体晶圆检测设备中，光学检测头需要在长达一米的行程上以极高的加速度进行扫描运动，以提升检测吞吐量。设备采用了 Danaher S20660-SRS 平台来驱动检测头。其高加速度将单个晶圆的检测时间缩短了30%，而其卓越的运动平稳性确保了在高速扫描过程中图像的清晰度，避免了运动模糊。设备制造商表示：“S20660-SRS 平台的高动态性能和可靠性是我们设备在市场竞争中保持领先的关键因素之一。”

相关产品组合方案

· •配套伺服驱动器：如 Danaher/Kollmorgen 的 AKD 系列驱动器，专为驱动直线电机优化，具备高级换相和推力控制功能。

· •高分辨率线性编码器：如 RENISHAW 或 HEIDENHAIN 的光栅尺，是实现高精度的关键。

· •运动控制器：上层多轴协调控制系统，用于生成复杂的运动轨迹。

· •限位开关与原点传感器：用于建立参考点和安全保护。

· •电缆管理系统：如拖链，用于保护动力和反馈线缆在长行程高速运动下的寿命。

安装维护与全周期支持

S20660-SRS 的安装对基础平台的平整度和直线度要求极高，通常需要专业的安装和调平流程。磁轨的拼接需要精确对齐，以确保推力的平稳过渡。平台本身为免维护设计，但需保持磁轨和编码器尺的清洁，防止灰尘和磁性颗粒污染。最关键的是与高性能伺服驱动器的集成与调试。需要使用制造商提供的软件对电机参数、编码器配置和控制环参数（位置环、速度环、电流环）进行精细整定，以充分发挥其性能。