ZMI-2002 8020-0211-1-J ZYGO

ZMI-2002 是ZYGO公司生产的一款高性能激光干涉仪测量系统，型号 8020-0211-1-J 特指包含特定光学组件和配置的完整套件。该系统基于迈克尔逊干涉原理，通过测量激光波长的干涉条纹变化，实现对线性位移、速度和振动等参数的非接触、超高精度测量。

应用场景：

在一台尖端的光刻机研发过程中，工作台的定位精度直接决定了芯片上电路的线宽和良率。工作台需要在数百毫米的行程内实现纳米级的重复定位精度。ZMI-2002 系统在此扮演了“裁判”的角色：其光学头固定在机器基座上，反射镜安装在工作台上。当工作台移动时，ZMI-2002 通过检测激光光程的变化，实时测量出绝对距离，其精度高达亚纳米级别。研发工程师利用这些数据来校准和优化光刻机的伺服控制系统，确保其达到设计指标。

核心参数速览：

技术原理与创新价值：

创新点1：基于光学干涉的绝对测量基准。 ZMI-2002 的核心原理是激光干涉。它将一束激光分裂为测量光和参考光，两束光经过不同路径后返回发生干涉。被测物体的位移会导致测量光的光程变化，从而引起干涉条纹的明暗交替。系统通过精确计数这些条纹的数量和分数部分，计算出精确的位移变化。这种方法将长度测量溯源至激光的稳定波长，提供了无可比拟的精度基础。创新点2：动态环境补偿与高稳定性。 空气的温度、压力、湿度会影响激光的波长（折射率）。高端配置的 ZMI-2002 系统可集成环境补偿单元，实时测量环境参数并自动修正测量结果，消除了环境因素引入的测量误差，确保了在普通实验室或车间环境下也能获得接近理论值的超高精度。创新点3：强大的信号处理与多参数测量能力。 系统的电子处理单元（如ZMI-2000/4000控制器）采用先进的光电转换和数字信号处理技术，能够在高速度下依然保持极高的计数准确度。此外，通过不同的光学镜组配置，ZMI-2002 不仅可以测量线性位移，还可以扩展用于测量直线度、俯仰/偏摆角、平面度以及振动分析，功能极其强大。

应用案例与行业价值：

某国家级计量院所承担着为航空航天企业传递长度标准的任务。其需要一款基准设备来校准高精度坐标测量机。该院所选用 ZMI-2002 系统作为最高标准。在实际校准中，ZMI-2002 的直接测量不确定度远低于被校准的坐标机指标，成功地为多家企业的质量控制体系提供了可信的溯源数据，保障了高端装备制造的质量一致性，客户评价其为“值得信赖的精度之源”。

相关产品组合方案：

一套完整的 ZMI-2002 测量系统通常包括以下关键组件：

· •激光器与光学头：发射激光并接收返回光信号的核心光学部件。

· •反射镜：包括固定参考镜和移动测量镜（如直角棱镜）。

· •测量控制器：如 ZMI-2000 或 ZMI-4000，负责信号处理、计算和数据显示。

· •环境补偿器：如 EC-2000，用于高精度测量的必备选件。

· •安装支架与调整架：用于精确对准光路。

· •数据采集软件：在PC上运行，用于数据记录、分析和生成报告。

· •各种附件：电缆、光学元件清洁工具等。

安装维护与全周期支持：

ZMI-2002 系统的安装和光路对准需要专业知识和经验。必须确保光学元件清洁，光路准直精确，才能获得最佳测量效果。系统应存储在清洁、干燥的环境中，避免剧烈振动。激光器有使用寿命，需定期校准或更换。