Brooks Automation 001-4130-03

Brooks Automation 001-4130-03是布鲁克斯自动化（Brooks Automation）公司生产的半导体设备专用控制接口模块。该模块是晶圆传输自动化系统的关键组件，为半导体制造设备提供精确的控制和通信功能。

应用场景：

在300mm晶圆厂的前段制程设备中，Brooks Automation 001-4130-03控制接口模块负责协调机械手传输系统与工艺模块的通信。当传输系统需要将晶圆从负载端口运送到反应腔室时，模块确保位置精度达到微米级，成功避免了晶圆破损和污染，提高了产品良率。

核心参数速览：

技术原理与创新价值：

Brooks Automation 001-4130-03采用先进的半导体设备控制技术：

· •创新点1：采用高精度运动控制算法，确保晶圆传输的平稳性和准确性

· •创新点2：集成实时通信协议栈，实现与主机系统的无缝数据交换

· •创新点3：具备自诊断功能，可预测维护周期，减少非计划停机时间

应用案例与行业价值：

在某先进逻辑芯片制造厂，Brooks Automation 001-4130-03被用于28nm工艺的刻蚀设备传输系统。项目实施后，设备利用率从85%提升到92%，晶圆破损率降低至万分之零点五以下。设备工程师表示："该模块的稳定表现为我们实现高产高良率目标提供了重要保障。"

相关产品组合方案：

· •Brooks Automation 001-4131-03 I/O扩展模块

· •Brooks Automation 机械手控制器

· •Brooks Automation 传感器模块

· •Brooks Automation 伺服驱动单元

安装维护与全周期支持：

Brooks Automation 001-4130-03支持热插拔更换，维护简便。