KOKUSAI CXP-544A KOMS-A2

KOKUSAI CXP-544A KOMS-A2 是KOKUSAI公司（现属日立国际电气）生产的一款高性能多通道温度控制器模块。该产品是半导体扩散炉、CVD设备等工艺装备的关键控制组件，专门用于实现反应室温度的精确控制，确保半导体制造工艺的稳定性和重复性。

应用场景

在华东地区某大型半导体制造厂的氧化炉温度控制系统中，KOKUSAI CXP-544A KOMS-A2温度控制器模块负责精确控制反应管多个加热区的温度。当进行晶圆氧化工艺时，模块以±0.1°C的精度维持反应管温度均匀性，确保氧化层厚度的一致性。在一次突发电源波动中，模块的快速PID调节功能在秒级内恢复温度稳定，避免了整批晶圆的报废损失。这体现了CXP-544A KOMS-A2在半导体制造中的核心价值：提供精密的温度控制，保障工艺质量。

核心参数速览

技术原理与创新价值

创新点1： 多区协同控制与自适应PID算法KOKUSAI CXP-544A KOMS-A2采用先进的多区温度协同控制技术，通过主控通道与辅助通道的联动，实现大型反应室的均匀温度场控制。其创新的自适应PID算法能够根据工艺温度变化自动调整参数，有效克服半导体设备热惯性大的控制难点，确保快速响应和超调抑制。创新点2： 高精度测温与抗干扰设计模块配备24位高精度ADC转换器，结合创新的数字滤波技术，有效抑制现场电磁干扰。热电偶冷端补偿电路采用高稳定性参考源，确保在全温度范围内的测量准确性。模块还支持传感器断线检测和故障预警功能。

应用案例与行业价值

案例：华南地区某半导体芯片厂扩散炉控制系统升级项目。该厂8英寸芯片生产线原有温控系统精度不足，导致氧化层均匀性差。采用KOKUSAI CXP-544A KOMS-A2温度控制器升级后，工艺稳定性显著提升。应用流程： CXP-544A KOMS-A2模块采集反应管多个测温点信号，通过多变量控制算法独立调节各加热区功率。系统实时监控温度均匀性，自动修正各区间温差。价值体现： 项目实施后晶圆片内均匀性提高约35%，产品良率提升约2%。温控系统的可靠性使设备故障率降低约40%，年节约维护成本超50万元。

相关产品组合方案

1. 1.KOKUSAI 加热器系统 - 与CXP-544A配套的加热执行机构

2. 2.KOKUSAI 温度传感器 - 高精度热电偶/RTD测温元件

3. 3.KOKUSAI 功率调节器 - SSR或可控硅功率输出单元

4. 4.KOKUSAI 人机界面 - 设备操作和监控终端

5. 5.KOKUSAI 通信网关 - 与上位系统集成接口

6. 6.KOKUSAI 安装机架 - 模块安装和配电解决方案

安装维护与全周期支持

KOKUSAI CXP-544A KOMS-A2采用标准的机架安装方式，安装时需注意信号线的屏蔽接地。日常维护主要包括定期校准温度测量通道、检查接线端子和清洁散热风道。建议每半年进行一次全面的精度校验和功能测试。