ZMI-2002 8020-0211-1-J ZYGO

ZYGO ZMI-2002 8020-0211-1-J是ZYGO公司生产的高精度激光干涉仪测量系统。该系统基于激光干涉原理，为超精密加工、半导体制造和精密计量提供纳米级精度的位移、速度和角度测量解决方案。

应用场景

在高端数控机床精度校验中，ZYGO ZMI-2002激光干涉仪实时测量机床定位精度。当检测大型龙门铣床时，系统在40米测量范围内达到纳米级分辨率，准确捕捉导轨直线度误差，为机床精度补偿提供可靠数据依据，确保加工精度符合设计要求。

核心参数速览

技术原理与创新价值

创新点1：高稳定性激光源技术采用稳频氦氖激光器，配合主动频率稳定技术，确保长期测量稳定性优于0.02 ppm。创新点2：智能环境补偿集成多参数环境传感器，实时补偿空气温度、压力、湿度对激光波长的影响，提高测量准确性。创新点3：高速信号处理采用先进的FPGA技术，实现MHz级采样频率，准确捕获动态位移变化。

应用案例与行业价值

某航空航天制造商使用ZYGO ZMI-2002检测五轴加工中心定位精度。系统检测出机床2μm的周期性定位误差，经补偿后加工零件精度提升60%。质量总监表示："ZMI-2002的检测数据为我们改进工艺提供了可靠依据。"

相关产品组合方案

1. 1.光学镜组| 线性、角度、平面度测量附件

2. 2.三脚架云台| 精密调整定位系统

3. 3.空气传感器| 高精度环境参数监测单元

4. 4.分析软件| MetroPro测量分析套件

5. 5.运输箱| 专业防护运输解决方案

安装维护与全周期支持

系统安装需在洁净恒温环境，定期进行光路校准。