223BD-00001AAB

223BD-00001AAB 是MKS Instruments公司生产的一款高性能压力传感器/变送器。该产品采用先进的传感技术，为工业过程控制提供精确、可靠的压力测量解决方案。

应用场景：

在半导体芯片制造厂的CVD（化学气相沉积）设备中，MKS 223BD-00001AAB 压力传感器实时监测反应腔室内的真空压力。其高精度测量确保了工艺气体流量和压力的精确控制，直接影响薄膜沉积的质量和均匀性。传感器通过4-20mA或现场总线将压力信号传输至设备控制系统，实现工艺参数的闭环控制。

核心参数速览：

技术原理与创新价值：

创新点1：先进的压阻式传感技术。 传感器采用高性能压阻芯体，通过微机电系统（MEMS）技术在硅晶片上制作惠斯通电桥，实现压力的高精度、低漂移测量。创新点2：智能温度补偿算法。 内置温度传感器和数字补偿电路，在全温度范围内对零点和满量程进行自动补偿，确保测量精度不受环境温度变化影响。创新点3：全面的诊断功能。 支持传感器断线、超量程、硬件故障等自诊断，并通过状态位输出，方便系统集成和维护。

应用案例与行业价值：

案例：光伏行业PECVD设备真空改造某光伏企业为提高薄膜太阳能电池效率，对PECVD设备真空系统进行升级，选用MKS 223BD-00001AAB 压力传感器。应用流程： 传感器安装在反应腔室真空管道，实时监测沉积过程中的压力变化，配合MKS质量流量控制器实现工艺气体流量的精确控制。带来的改进： 改造后，薄膜均匀性由±8%提升至±3%，电池转换效率提高约0.5%。客户反馈："223BD-00001AAB 的稳定性和重复性，为我们提升产品良率提供了关键保障。"

相关产品组合方案：

完整的压力测控解决方案包括：

· •MKS质量流量控制器： 如MKS 1179A系列

· •MKS真空计： 用于不同真空范围的测量

· •MKS真空阀： 如蝶阀、挡板阀等

· •MKS真空泵： 干泵、分子泵等

· •MKS集成的真空子系统： 如UDP系列

安装维护与全周期支持：

安装： 传感器需垂直安装于测量点上方，避免颗粒物积聚。接线需屏蔽，接地良好。维护： 定期进行零点校准（建议每6个月），检查密封性。清洁时使用异丙醇，避免损坏膜片。