



AMAT 0010-23716 是美国应用材料公司(Applied Materials)生产的半导体制造设备专用备件。该零件主要用于应用材料公司的各种晶圆加工设备,在芯片制造过程中发挥重要作用,具有高精度、高可靠性的特点。
在半导体晶圆厂的PVD(物理气相沉积)设备中,AMAT 0010-23716 组件负责维持工艺腔室的真空环境稳定性。该部件在晶圆金属化工艺中确保薄膜沉积的均匀性和一致性,其性能直接影响芯片器件的良率。在实际生产中,该组件的高可靠性确保了设备持续运行数千小时无故障。
主要参数 | 数值/说明 |
产品型号 | AMAT 0010-23716 |
制造商 | 应用材料公司(Applied Materials) |
产品类别 | 半导体设备专用备件 |
适用设备 | Applied Materials PVD、CVD等工艺设备 |
材料认证 | 满足半导体级洁净度要求 |
工作环境 | 高真空(通常10⁻⁶~10⁻⁸ Torr) |
温度范围 | 根据具体工艺要求而定 |
洁净等级 | Class 1-10 洁净室环境 |
认证标准 | SEMI标准,应用材料公司原厂认证 |
创新点1:超精密加工技术采用特殊的表面处理和精密加工工艺,确保在极端真空环境下的稳定性和长寿命。创新点2:材料优化设计使用特殊的合金材料或陶瓷材料,具有优异的耐腐蚀性、低放气率和热稳定性。创新点3:严格的质量控制每个部件都经过严格的原厂测试和认证,确保满足半导体制造的高标准要求。


在某先进制程晶圆厂,使用AMAT 0010-23716备件后,设备平均无故障时间提升30%,工艺稳定性显著改善,芯片良率提升约2%,年为客户创造额外价值数百万美元。
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· •洁净室安装辅助工具
该备件必须在Class 100或更高级别的洁净室环境中由经过应用材料公司认证的工程师进行安装。
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