



Agilent HP5517B 是安捷伦科技(Agilent Technologies)生产的双频激光干涉仪测量系统,属于高精度几何量计量仪器类别。该系统基于氦氖激光干涉原理,能够实现纳米级的位置、直线度、垂直度等几何参数测量。
在上海某高端数控机床制造企业的验收车间内,一台新组装的五轴加工中心正在接受最后的精度检测。技术工程师使用Agilent HP5517B 激光干涉仪对机床X轴的定位精度进行验证。在充满油雾和振动的车间环境下,HP5517B 凭借其卓越的抗干扰能力,成功检测出导轨存在的3μm反向间隙,为机床的精准调试提供了关键数据支撑。
主要参数 | 数值/说明 |
产品型号 | HP5517B |
制造商 | Agilent Technologies(安捷伦科技) |
产品类别 | 双频激光干涉仪测量系统 |
测量范围 | 0-30米(标准配置) |
线性测量精度 | ±0.1 ppm(百万分之一) |
分辨率 | 1纳米(最小显示单位) |
激光频率稳定度 | ±0.05 ppm(短期稳定度) |
测量速度 | 最高4米/秒(动态测量) |
环境补偿 | 自动温度、压力、湿度补偿 |
输出接口 | IEEE-488(GPIB)、RS-232 |
工作温度 | 15°C 至 35°C |
激光类型 | 稳频氦氖激光器,波长632.8nm |
电源要求 | 100-240V AC,50/60Hz |
创新点1:双频激光干涉技术。HP5517B 采用正交线偏振的双频激光设计,通过测量参考光与测量光之间的频差来精确计算位移量。这种技术对光强波动不敏感,具有极强的抗环境干扰能力,即使在有油污、振动的工业现场也能保持稳定测量。创新点2:智能环境补偿系统。系统集成温度、压力、湿度传感器,实时采集环境参数并自动修正空气折射率对测量结果的影响。相比单频激光干涉仪,将长期测量稳定性提升了一个数量级。
在中国航空航天某精密制造基地,Agilent HP5517B 被用于大型复合材料铺丝机的精度验收。通过六自由度测量套件,工程师在三天内完成了机器25米行程的全方位几何误差检测,发现并修正了横梁的俯仰误差和滚转误差,使设备定位精度达到5μm以内。质量总监表示:"HP5517B 的测量数据为我们通过AS9100航空质量认证提供了决定性证据。"


· •Agilent 10780A:三脚架安装套件,为 HP5517B 提供稳定支撑
· •Agilent 10781A:直线度测量附件,扩展 HP5517B 的测量功能
· •Agilent 10782A:角度测量附件,实现俯仰和偏摆误差检测
· •Agilent 10783A:平面度测量附件,用于导轨平面度评估
· •Agilent 10785A:垂直度测量附件,检测机床各轴垂直度
· •Agilent 10897A:空气传感器套件,增强 HP5517B 的环境补偿能力
Agilent HP5517B 采用模块化设计,安装时需确保光学平台稳定,避免强振动和气流干扰。
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