DELTA TAU ACC-24E2A

Delta Tau ACC-24E2A 是由 Delta Tau Data Systems（现为 OMRON Delta Tau）推出的 高性能 2 轴模拟量伺服/步进电机接口扩展卡，专为 PMAC（Programmable Multi-Axis Controller）系列运动控制器设计。该模块提供高分辨率、低延迟的 ±10V 模拟量输出与编码器反馈接口，支持高速闭环控制，广泛应用于精密机床、半导体设备、激光加工、机器人及科研仪器等需要亚微米级定位精度的多轴同步运动场景。

应用场景

在美国某国家级纳米制造实验室的电子束光刻系统中，原有运动平台因伺服更新率不足导致扫描轨迹失真，线宽均匀性超标。项目团队采用基于 PMAC Turbo UMAC + ACC-24E2A 的控制架构。ACC-24E2A 以 32 kHz 伺服更新率 输出平滑 ±10V 指令至 Aerotech 直驱电机，并同步采集 Heidenhain 光栅尺（1 nm 分辨率）反馈。在 100 mm/s 扫描速度下，平台轨迹误差 <±50 nm，成功实现 7 nm 节点光刻验证。该系统连续三年无故障运行，成为实验室“纳米级运动基石”。

核心参数速览

技术原理与创新价值

创新点1：硬件级高速伺服环，实现微秒级动态响应
ACC-24E2A 将伺服控制任务卸载至专用 ASIC，使 PMAC CPU 专注于轨迹规划与逻辑。其 32 kHz 闭环更新率（周期 31.25 µs）远超通用运动控制器（通常 1–4 kHz），确保在高速高加速度运动中仍能精准跟踪指令。配合 PMAC 的 前瞻滤波（Look-ahead Filtering）技术，有效抑制机械谐振，提升表面加工质量。

创新点2：高保真模拟量输出 + 纳米级反馈，支撑极致精度
16 位 DAC 提供 0.3 mV 分辨率 的 ±10V 输出，可驱动高端伺服驱动器（如 Aerotech、Yaskawa）实现平滑转矩控制。同时，40 MHz 编码器接口支持 1 nm 甚至亚纳米级光栅尺，形成“高分辨率指令 → 高刚性执行 → 高精度反馈”闭环，满足半导体与计量领域严苛要求。

创新点3：深度集成 Power PMAC IDE，加速开发与调试
在 Power PMAC IDE 环境中，工程师可直接配置 ACC-24E2A 的 PID 参数、滤波器、I/O 映射，并通过 Scope 示波器工具 实时观测指令/反馈/误差曲线。其 自动整定（Auto-tuning）功能可快速优化伺服参数，将调试周期从数天缩短至数小时。

应用案例与行业价值

• 半导体封装：在先进芯片贴装机中，ACC-24E2A 控制 XYθ 三轴平台实现 ±1 µm 贴装精度，UPH（每小时贴装数）提升 35%。
• 激光切割：某新能源电池极片切割设备利用 ACC-24E2A 的高速响应，在 5 m/s 速度下保持切缝宽度一致性 <±2 µm，良率提升至 99.6%。
• 天文望远镜：欧洲某射电望远镜方位/俯仰轴采用 ACC-24E2A，实现 0.01 角秒级指向稳定度，助力深空探测项目。

相关产品组合方案

• OMRON Turbo UMAC：高性能 PMAC 控制器主机，最多可扩展 8 块 ACC-24E2A（16 轴）
• Heidenhain LC/LIF 系列光栅尺：1 nm 分辨率反馈元件，与 ACC-24E2A 编码器接口原生兼容
• Aerotech ACS 系列驱动器：高端伺服驱动器，接收 ACC-24E2A 的 ±10V 指令
• Yaskawa Σ-7 系列伺服：支持模拟量输入，适用于 ACC-24E2A 架构
• Power PMAC IDE：官方开发环境，提供 ACC-24E2A 配置、调试与 HMI 开发
• ACC-8ES：8 轴数字量脉冲输出卡，适用于步进或脉冲型伺服（与 ACC-24E2A 互补）
• Clipper：紧凑型 PMAC 控制器，可搭配 ACC-24E2A 用于小型设备

安装维护与全周期支持

ACC-24E2A 必须插入 PMAC 主机（如 UMAC）的专用 ACC 扩展槽，并用螺丝固定。安装时需注意：

• 使用屏蔽双绞线连接伺服驱动器（模拟量输出）
• 编码器电缆采用双层屏蔽，屏蔽层单点接地于控制器侧
• 避免与变频器、大功率电机平行走线

日常维护主要通过 Power PMAC IDE 进行远程诊断，查看伺服误差、I/O 状态及事件日志。