



主要参数 | 数值/说明 |
|---|---|
产品型号 | intelliSCAN de III 14-532nm |
制造商 | SCANLAB GmbH |
产品类别 | 数字闭环控制激光扫描振镜系统 |
设计波长 | 532 nm (优化镀膜, 确保高损伤阈值与高反射率) |
扫描角度 | 最大光学扫描角 ±14° (机械角可能更大, 如±20°) |
入瞳直径 | 指定光束入口直径, 如7mm或10mm, 需与激光光束匹配 |
位置探测器 | 集成高分辨率位置敏感探测器(PSD), 实现纳米级位置反馈与闭环控制 |
线性误差 | 极低, 通常 < 0.05% of F.S. (满量程) 经过校准后 |
重复定位精度 | 通常 < 5 μrad (微弧度), 对应工作平面上的微米级偏差 |
阶跃响应时间 | 极快, 通常毫秒级 (如从一点跳转到另一点) |
通信接口 | 标准数字接口 (如SCANLAB的PASSTHROUGH或基于以太网/CANopen的高端协议), 支持模拟量输入(可选) |
控制器集成 | 集成式数字控制器, 具备PID调节、非线性校正、温度补偿等功能 |
校准方式 | 支持软件辅助的动态位置校正, 通过外部CCD相机测量并补偿非线性误差 |
工作温度 | 典型 15°C 至 40°C (需维持温度稳定以保证精度) |
安装方向 | 可多方向安装, 但需考虑散热与重力影响 |


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