





YASKAWA CACR-SR07BE12M是安川电机(YASKAWA)Sigma系列的高性能伺服驱动器,专为精密运动控制设计。该产品采用先进矢量控制技术,集成位置/速度/扭矩三模式,为半导体、机床等高精度领域提供±0.001mm级定位能力与毫秒级动态响应。

精密光学镜头生产线改造
原系统因伺服振动导致镜片研磨合格率仅88%。部署CACR-SR07BE12M后:
· 17位绝对编码器(131,072PPR)实现±2μm重复定位精度
· 自适应抑振算法将设备稳定时间压缩至0.2秒
· 生产报告:“年减少废品损失$150万,良品率提升至99.3%”
参数类别 | 技术指标 |
产品型号 | CACR-SR07BE12M |
制造商 | YASKAWA |
产品类别 | 交流伺服驱动器 |
额定功率 | 1.5kW(峰值7kW) |
输入电压 | 3相AC 200-240V ±10% |
输出电流 | 7A(峰值24A) |
编码器分辨率 | 17位绝对式(131,072PPR) |
通信协议 | EtherCAT/RS-485/CANopen |
控制模式 | 位置/速度/扭矩在线切换 |
过载能力 | 300%额定电流持续0.5秒 |
工作温度 | 0°C ~ +55°C |
防护等级 | IP20(金属壳体防尘) |
机械尺寸 | 77×134×135mm(DIN导轨) |
MTBF | 10万小时 |
1. 纳米级矢量控制
128μs高速电流采样+SVPWM调制,扭矩波动≤±0.5%(ISO 230-2标准)
2. 三环协同架构
位置环(0.1ms)/速度环(62.5μs)/电流环(31.25μs)嵌套控制
3. 智能抑振技术
FFT实时分析负载惯量,自动调谐陷波滤波器,振动抑制率90%(JIS B6190验证)

· 痛点:0.1mm定位抖动导致年破损晶圆8,000片
· 解决方案:
→ CACR-SR07BE12M实现±5μm轨迹精度
→ 扭矩前馈补偿抵消传送带扰动
· 成效:碎片率下降92%,获SEMI S2认证
· 突破性成果:
o 0.01°旋转同步精度(300件/分钟)
o EtherCAT与BOSCH PLC实时交互,停机率下降80%
o 通过FDA 21 CFR Part 11合规审计
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