ZYGO ZMI-4004

ZYGO ZMI-4004是一款4轴VME64x测量板，属于ZYGO公司ZMI系列位移测量干涉仪产品。它利用由ZMI激光源驱动的干涉仪发出的光信号来计算位移，主要用于干涉测量系统中，以实现纳米级的位移测量和精确定位。

产品参数：

轴数：4轴/板

位置分辨率：0.15nm

最大速度：±2.55m/s

最大速度下的精度（σ）：0.2nm

最小光功率：1.0μW

板卡类型：6U VME64x

兼容的激光器：7702、7714和7724

产品规格：尺寸方面需适配6U VME64x标准机箱。工作温度等环境参数需满足工业级标准，以确保在不同工作环境下的稳定性和可靠性。

系列：属于ZYGO ZMI系列，该系列产品专注于位移测量干涉技术，可提供亚纳米级的分辨率，适用于最具挑战性的位置计量应用。

产品特征：

高精度测量：采用激光干涉测量技术，可实现纳米级甚至更高分辨率的位移测量。

多轴测量支持：支持4个测量轴，适用于复杂的多轴测量系统。

实时信号处理：具备高性能信号处理功能，可实时处理干涉信号，提供快速、准确的测量反馈。

误差补偿：荣获专利的循环减小误差选项可以自动、无缝地消除DMI系统中常见的固有非线性误差，从而达到最高的测量精度。

兼容性强：兼容ZYGO的激光干涉仪系统，如ZMI系列干涉仪和光学测量系统。

作用：在干涉测量系统中，将干涉仪获取的光信号转换为电信号，并进行高精度的处理和计算，从而精确测量出被测物体的位移变化，为系统提供精确的位置反馈，以实现对物体运动的高精度控制和定位。

用途：主要用于需要高精度位移测量和精确定位的场合，为相关设备和系统提供精确的位置信息，以保证其高精度的运行和加工。

应用领域：

半导体制造：如晶圆对准、光刻机精密运动控制等，确保芯片制造过程中的高精度定位和加工。

精密机械加工：实现纳米级定位，提高加工精度，制造高精度的机械零部件。

科研实验：在需要高分辨率位移测量的科研实验中，如材料力学性能测试、微纳尺度下的物理现象研究等，为实验提供精确的测量数据。

航空航天：应用于航空航天精密测量系统，如飞行器零部件的加工制造、航空发动机的装配等，保证航空航天产品的高精度和可靠性。