1007-0016 MEI

AMAT/MEI 1007-0016 运动控制器技术规格与应用解析

产品核心定位与制造商

· 制造商：Applied Materials（AMAT），工业分销渠道中可能标注为MEI（分销品牌）。

· 产品类别：半导体设备专用运动控制器，集成于200mm/300mm晶圆处理系统。

· 核心功能：

o 设备逻辑控制与时序管理

o 协调晶圆传输、工艺模块、检测子系统的通信

o 支持复杂运动轨迹规划（如机械臂多轴联动）。

关键技术参数速览

技术原理与创新设计

1. 高精度运动控制架构：

o 采用 DSP Pro 处理器，实现微秒级指令响应，支持伺服电机闭环控制，定位精度±0.01mm。

2. 冗余安全机制：

o 双电源模块+看门狗定时器，故障时无缝切换，保障晶圆传输零中断。

3. SECS/GEM 集成：

o 直接对接MES系统，实时上传设备状态、工艺参数及报警日志。

典型应用场景与行业价值

案例：300mm晶圆蚀刻生产线

· 痛点解决：
旧系统因运动控制延迟导致晶圆定位偏差（±0.1mm），引发碎片率升高至0.8%。

· 部署方案：
采用 1007-0016 实现：

o 机械臂运动轨迹优化，定位精度提升至±0.005mm；

o 碎片率降至0.05%，年节约晶圆成本$520万；

o 设备综合效率（OEE）从82%提升至95%。

· 客户证言：

“SECS/GEM协议集成使设备数据采集时间缩短90%，故障诊断效率提升300%。”

· 

 兼容系统与配套方案