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ZYGO ZMI-4004 是翟柯(ZYGO)公司生产的一款高性能光纤激光干涉仪测量系统。它通过激光干涉原理,为精密运动平台提供达到纳米级甚至亚纳米级分辨率的超...
2025
ZYGO ZMI-4004是一款4轴VME64x测量板,属于ZYGO公司ZMI系列位移测量干涉仪产品。它利用由ZMI激光源驱动的干涉仪发出的光信号来计算位移,主...
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